一、激光蚀刻技术技术原理
激光蚀刻的基本原理是将高光束质量的小功率激光(一般为紫外线激光、光纤激光)聚焦在极小的光点上,在焦点上形成高功率密度,使材料瞬间蒸发,形
成孔、槽、槽,形成极小的功率密度。激光微纳切割、切割、腐蚀、钻孔等工艺。
二、激光蚀刻技术技术特征
以激光非接触方式加工,高柔性、高速、无噪声、热影响区小、可聚焦至激光波长级的极小光斑等,在打眼、划片、刻蚀、切割尺寸精度和加工质量方面,
尤其是与某些材料(例如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”,可获得无碳化效果的“冷加工”,尤其是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光
化学作用”的“冷加工”,可获得无碳化效果的“冷加工”,特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”,可获得无碳化效果的“冷加
工”,特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”,可获得无碳化效果的“冷加工”,特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用为“
光化学作用”
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